产品说明：
不锈钢高纯减压器
40. U21SL系列小流量减压器
42. U22SL系列中流量减压器
44. U23SL系列中流量减压器
46. U53SL系列超高纯减压器
结构特点 Features
h 316L 不锈钢母体
h 膜片式硬密封，泄漏率低
h 可采用面板安装和后座安装
h 压力表标准连接： 1/4” FSR(M) 
 可选：1/4” FSR (F)
h 内部电解抛光
h 高清洁的组装和包装将适用于高纯洁度的半导体产业
h 使用寿命长
h 100% 氦气测试
材质 Materials
h 母体：316L
h 阀座：PCTFE*，Vespel?
h 膜片：316L
h 上盖：316
功能特性 Functional Performance
h 流量：Cv=0.14
h 母体泄漏率：2x10-8 atm cc/sec He
h 阀座泄漏率：4x10-8 atm cc/sec He
h 设计验证压力：*大额定压力的 150% 
h 设计爆破压力：*大额定压力的 400%
工作条件 Operating Conditions
h *大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar) 
h 出口压力：0- 25 psi (1.7 bar) , 0-50 psi (3 bar), 
 0-100 psi (7 bar), 0-250 psi (17 bar), 
 0-500 psi (35 bar)
h 温度： -40℃~74℃(-40℉~165℉)
流道表面 Surface Finish
h 标准：Ra 20μin
h 可选：Ra 10μin
内部容积 Internal Volume
h 4.6 cc
订购指南 Ordering Information
内部结构 Internal Structure 安装尺寸图 Dimensions (mm)
41.
U21
前面板安装
（*大厚度7.1mm）
94 mm（1/4” 面密封接头） 后支架安装
94 mm（1/4” 对焊接管）
Ex: U21 SL B K - D F P - 91 - 92 - P
系列号 
Series
母体
材料 
Body
母体孔 
Body 
Ports
阀座
材料 
Seat
输入压力 
Inlet 
Pressure
输出压力 
Outlet 
Pressure
压力表 
Gauge
进气/出气形式 
Inlet / Outle
Connection
选项 
Options
U21 SL: 316L A
B
G
J
M
K: PCTFE
V: Vespel? 
D: 3000 psi 
F: 500 psi 
F: 0~500 psi
G: 0~250 psi 
I: 0~100 psi 
K: 0~50 psi 
L: 0~25 psi
W: 不带压力表 
P: psi / bar 表
90: 1/4” FSR(F)
91: 1/4” FSR(F) 旋转螺帽
92: 1/4” FSR(M) 旋转螺帽
41: 1/4” 对焊接管
E: Ra 10 μin
P: 面板安装
H: Hastelloy? 膜片
销售 -801 徐经理